高品質スクリーン印刷用 ステンレスワイヤーメッシュ AD-Screenシリーズ

MEMS Micro Electro Mechanical Systems

スクリーン印刷で製造-フレキシブルMEMS

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造は、これまでは半導体プロセスを利用して、センサ、アクチュエーター、電子回路を一つの基板上に作り込んだデバイスが主流でした。このため、シリコンやガラスなどの無機基板上に製作されることが通常でしたが、近年ではプラスチックの基板の上に製作するフレキシブルMEMSが必要とされてきました。

スクリーン印刷で製造-フレキシブルMEMS

低コスト、低環境負荷の製造プロセスであるスクリーン印刷技術を用いたフレキシブルクランプ式電流センサを以下に紹介します。
薄膜材料に粘弾性の高い導電性ペーストを塗布し、コイル構造を形成しました。この電流センサは、店舗やオフィスの各配線に後付けで設置することができ、配線ごとの消費電力を監視し、ネットワーク化することで省エネルギーに貢献します。

スクリーン印刷技術を駆使した電流センサの作製方法

スクリーン印刷技術を駆使した電流センサの作製方法
謝辞: 本成果は、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託業務である、「グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト (GSNプロジェクト)」により得られたものである。

スクリーン印刷のメリットとは

微細パターンを印刷で形成するためには、基板の表面エネルギーの影響を受けにくく、印刷後の形状保持性を保持できる高粘弾性ペーストを使用する必要があります。
スクリーン印刷はペーストの「先入れ先出し」の原理でペーストが供給、印刷されるため、他の印刷工法と比較し、粘度の高いペーストも連続して使用することが可能です。超高強度HS-Dメッシュの開発により、ダレの少ない高粘弾性ペーストを使用し、高い解像性で印刷できるようになりました。

先入れ先出しの原理

メッシュ版を使用したオフコンタクト印刷で、塗布体積は±20%以下に安定
HS-Dメッシュを使用した高品質スクリーン印刷でフレキシブルMEMSが製造可能です。
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